Парортутные и паромасляные насосы 15

Насосы ММ-40А и ММ-40АМ (модернизированный, изображенный на рис. 46), имея одинаковую быстроту откачки 30 ÷ 40 л/сек, отличаются только некоторыми конструктивными особенностями (так, например, у насоса ММ-40АМ несколько другие размеры присоединительных фланцев, свинцовые уплотнительные прокладки заменены резиновыми и имеется съемная рубашка водяного охлаждения).

В установках для катодного распыления, для нанесения покрытий под вакуумом, в небольших печах для вакуумной плавки и пайки, а также в печах для вакуумного отжига металлов обычно используют насосы ЦВЛ-100, Н-5 (с быстротой откачки 500 л/сек) и ЦВЛ-15М (с быстротой откачки до 1500 л/сек).

Устройство насосов ЦВЛ-100 и Н-5 представлено на рис. 47 и 48. Технические характеристики этих насосов даны в приложении 4.

Как видно из этих технических характеристик, большинство паромасляных насосов требуют для своей работы достаточно низкого выпускного давления (порядка 5∙10-2 — 2∙10-1 мм рт. ст.).

К насосам предварительного разрежения, предназначенным для обеспечения нормальной работы паромасляных насосов, предъявляются в этом случае требования, чтобы их производительность в этом диапазоне давлений была достаточной для удаления газа, выбрасываемого высоковакуумным насосом через свой выпускной патрубок. Однако, как видно из рис. 4, производительность вращательного масляного насоса резко падает с уменьшением давления на его всасывающем патрубке. Для того, чтобы наиболее эффективно использовать вращательный насос, желательно значительно повысить выпускное давление паромасляного насоса.